Das Ascent® SMS AP -Netzgerät von Advanced Energy
Bietet mit Advanced Pulsing die präziseste, anpassbarste Plasmasteuerung der Branche
10 KW -Netzgerät mit verbessertem Arc-Management und eingebauter Prozess-Charakterisierung kann konfiguriert werden, um Durchsatz und Ertrag zu optimieren
Advanced Energy (Nasdaq: AEIS) – ein weltweit führender Anbieter von hochentwickelten, präzisen Stromwandlungs-, Mess- und Steuerungslösungen – hat seine Familie von Plasmastromgeneratoren um ein gepulstes DC-Netzgerät mit einer Leistung von 10 kW erweitert, welches branchenführende Leistungs- und Kontrollfunktionen mit integriertem Prozessoptimierungstool PowerInsight by Advanced Energy™ kombiniert. Mit patentierter Pulstechnologie sorgt das Ascent® SMS AP (Advanced Pulsing)-Netzgerät für optimales Arc-Management und präzise Plasmasteuerung bei den herausforderndsten Dünnschichtabscheidungs-Anwendungen, von der Halbleiter- bis zur Solar-PV-Herstellung.
Das kompakte 10 kW Ascent SMS AP besitzt den weitesten betriebssicheren Funktionsbereich (SOA) mit Spitzenspannungen von bis zu 1200 V und Puls-Frequenzen von 500 Hz bis 150 kHz. Sein progressives Arc-Management-System ist mit Hilfe der reversen Spannung die fortschrittlichste Lösung der gesamten Branche und bietet die geringste Arc-Energie mit selbstjustierenden Arc-Parametern, die sich mit dem Prozess-Fortschritt dynamisch verändern. Die AP-Wellenform bietet Boost-Spannung, reverse Spannung, Kontrolle und erweiterte Pulsform, die es erlaubt, Feinabstimmungen an der individuellen Film-Morphologie und an gewünschten Filmeigenschaften vorzunehmen.
„Advanced Energy verbessert die Leistung von gepulsten DC-Netzgeräten mit beispielloser Anpassungsfähigkeit in single Magnetron Sputter-Anwendungen weiter“, sagte Dhaval Dhayatkar, Senior Director of Marketing, Plasmapower Produkte bei Advanced Energy. „Vollgepackt mit unseren fortschrittlichsten Technologien, einschließlich einer konfigurierbaren Wellenform, progressivem Arc-Management, SOA (sicherer Arbeitsbereich) der Spitzenklasse, großem Frequenzbereich und unserem PowerInsight-Prozessoptimierungstool, hilft das neue 10 kW Ascent SMS AP-Netzgerät unseren Kunden dabei, die höchstmöglichen Stufen an Präzision, Wiederholbarkeit und Ausbeute in fortschrittlichen Plasmaprozessen zu erreichen.“
Die neue Einheit ist das erste AE-Netzgerät, das die PowerInsight-Prozesscharakterisierungs- und Optimierungssoftware integriert. PowerInsight vereinfacht die Sammlung, Analyse und Aufbereitung von Daten aus kritischen Prozessen und bietet Intelligenz, die benutzt werden kann um Prozesse zu optimieren, die Produktivität zu verbessern und ungeplante Ausfallzeiten von Prozessgeräten effizient zu reduzieren.
